8英寸研发中试线将助攻创新研发

如今，以移动互联网、物联网、云计算、大数据、人工智能等为代表的信息技术正加速创新、融合和普及应用，一个万物互联智能化时代正在到来。

其中，超越摩尔技术以传感器为核心，结合射频、功率、微能源等技术，是未来实现万物互联的基础性、决定性核心技术之一。

“8英寸研发中试线将为科研院所、高校提供服务，打通研发到生产的高速通道。”上海新微技术研发中心有限公司Fab运营副总裁游家杰解释道，“8英寸研发中试线的优势不是追求物理极限，而是追求材料和工艺上的创新，可以说我们正在尝试‘跨道超车’。”

据介绍，传感器的市场应用已呈现爆发式增长态势，产品种类丰富，多达上千， 此前美国举行的MEMS Bryzek预测MEMS芯片市场将在2023年达到1兆片（trillion）的市场规模，同时，中国智能传感器市场也预计将于2019年达到960亿元。

然而，纵观我国超越摩尔领域现状，虽经历多年的理论研究与技术验证，积累了大量宝贵的知识和经验，但在真正放进产品进行实际应用时往往存在与生产平台脱节的情况。

这都是源于MEMS产品的研发所涉及的技术链条较长，且其“非标”特性使得它的研发与创新需要和产线有一段比较长的磨合期，不同于CMOS的标准工艺，可以说对产线“严重依赖”。

记者在位于上海嘉定工业区的8英寸研发中试线工厂看到，近5,000平方米的高等级微纳加工超净厂房内，工研院与国际领先的晶圆厂密切合作构建的8英寸“超越摩尔”研发中试线，不仅实现了从研发到量产的无缝衔接，更丰富完整了国内的超越摩尔生态链，是对标国际产业竞争的关键一环。