日前，上海微技术工业研究院8寸MEMS研发中试线（简称“8寸线”）生产的500多万颗温度传感器芯片顺利下线，第一批9万颗芯片以99.74%的良率提前三天送到客户手中。这些芯片将作为核心部件组装到红外线体温计中，然后投放到抗疫最前线。

疫情发生以来，口罩、红外线体温计、防护衣等防疫物资频频告急，温度传感器芯片作为红外线体温计的核心器件，也面临巨大的缺口。2月1日，承担攻坚任务的8寸线设备工程师队伍迅速集结，全部在沪人员即刻到位；外地人员尽快返沪并开始必要隔离，争取尽早复工；确因实际困难无法到岗和返沪的员工，也通过视频、电话、微信等通讯手段，从技术操作等方面全力支持复工。

据介绍，温度传感器芯片是一个需要38台主力设备和120多个步骤的复杂产品，整个生产过程对设备状态有着极其苛刻的要求，任何一个设备或步骤出问题，都会导致整个制作流程的失败或停滞。同时，温度传感器芯片结构精细、设计严格，一个亚微米大小的颗粒就会毁掉整个芯片；薄膜生长时出现几纳米的厚度偏差，就可能导致几十万颗芯片的报废。有好几次，设备出现故障，无法自动流片，设备工程师曹兴龙就打开设备外壳，在同事的配合下，在设备背面狭小的空间里进行手工装卸，稍有失误就会出现碎片甚至伤害到设备，造成严重损失。这种操作非常紧张和辛苦，然而，凭借沉着冷静的态度和高超的技艺，他把这个常人无法做到的事，做到了完美。

在一般的半导体生产厂，一个设备工程师只需掌握一种设备，而8寸线的设备团队有一个优良传统，就是传帮带，通过互帮互学，8寸线上的每位工程师都能熟练维修、操作多种设备。在生产人员无法全部到位参加生产的情况下，工程师们平时练就的基本功派上了用场，他们义不容辞地当上了生产操作工，同时把积累的生产技能及时传授给赶来参战的其他员工。在到厂人员有限的情况下，团队完美配合，及时排除了一次又一次的故障，昼夜兼程，有力保障了整个生产线的稳定和通畅。

来源：“上海嘉定”APP，作者：嘉融媒通讯员朱敏敏，编辑：王丽慧