上海市嘉定区人民政府

日前，在第四届长三角科技成果交易博览会上，外冈镇晶智（上海）光学设备有限公司研发的突破性光学材料——CFS-100合成熔融石英亮相。

现场展出的CFS-100合成熔融石英

现场展出的CFS-100合成熔融石英是一块直径40厘米、高20厘米、重约50千克的石英，它的纯度高达99.9999%，通体晶莹剔透，属于石英中的特一级。按照设计与生产技术标准，它几乎无任何瑕疵，在阳光下比纯净的水晶还要晶莹剔透，可应用于强激光、激光聚变、光刻光学、航空航天、深空探索、光波导、光通讯等领域。

工作人员介绍，CFS-100合成熔融石英与现有的国产石英相比，其均匀性小于百万分之二，应力分布每厘米小于1纳米，材料整体折射率达到顶级品牌的一流技术标准。而且，CFS-100的羟基含量（OH）小于30，这样的低含量已达到国际品牌的一流质量技术标准。如果将CFS-100合成熔融石英填满一个湖，可以轻易地看到湖底，其折射率和透光率非常高。“相较于国外品牌的高质量高成本以及大多数国产石英材料低质低价，我们的产品在高质量与低成本之间找到了平衡。”晶智（上海）相关负责人说。

事实上，早在几年前，晶智（上海）便开始研发高端熔融石英材料。起初的情形并不乐观，当时受国外品牌不断加强对超高端及高端熔融石英材料的限制，国内企业接触不到核心技术，研发难度相当大。“已经记不清试验次数了。”一位研发人员说，“没日没夜的技术摸索、工艺设计建模与尝试，对材料的深度提纯等，最终形成自己独特技术优势，真的不容易。”

目前，晶智（上海）实现了CFS-100合成熔融石英的批量生产与稳定供应，未来，晶智（上海）将进一步加大合成熔融石英材料的技术革新和科研投入，创新研发合成熔融石英材料的氢化技术，使其能更好、更深入地应用在最前沿的高端光刻、高端芯片生产制作领域。

作者： 通讯员任赵聪
编辑： 沈悦