上海市嘉定区人民政府

生产基地选址嘉定工业区（北区）ＪＤＳＢ０３０１、ＪＤＳＢ０３０２、ＪＤＳＢ０３０３单元６４－０３地块，东至基地边界，南至基地边界，西至城北路，北至兴顺路。项目占地面积约４２亩，拟分两期投资建设，将打造成为集研发、制造、销售和维保服务为一体的国产先进半导体附属装备平台。

效果图

据了解，上海盛剑半导体科技有限公司是国内半导体产业工艺废气治理系统解决方案领军企业——上海盛剑环境系统科技股份有限公司的子公司。截至目前，企业已获专利５０余项，在半导体附属设备领域具备深厚积累。