上海市嘉定区人民政府

193纳米深紫外激光干涉仪

193纳米深紫外激光干涉仪是一种高精度的波前测量设备，其核心原理是通过参考光与被测光形成的干涉条纹分析波前畸变，在高端光学领域尤其是晶圆缺陷检测物镜的性能评估中具有至关重要的作用。作为半导体制造、高端光学元件检测等领域的关键设备，193纳米深紫外激光干涉仪此前长期被国外垄断。

晶圆缺陷检测物镜

“激光干涉仪就好比制造业的‘眼睛’，是国家长度计量溯源体系中的标准器，在高端制造领域应用广泛，从原先的266纳米到现在的193纳米，看似只是波长的缩短，实则是从‘有参考’到‘全自主’的质变。”乾曜光学技术总监祝沛介绍，“就拿633纳米干涉仪光学来说，我们穿轴一次就成功了，然而193纳米的光学穿轴我们调试不下50次，光路校准反复调整，每一次微调都关乎最终精度。”

据悉，上海乾曜光学科技有限公司成立于2009年6月，是高新技术企业、上海市科技小巨人（培育）企业、上海市“专精特新”中小企业，长期专注于光学测量仪器的研制。此次193纳米深紫外激光干涉仪的成功下线，是企业发展的重要里程碑，更是国内高端光学检测领域自主创新的生动体现。未来，乾曜光学将以此为新起点，继续在高端光学领域探索，为国家相关产业发展提供坚实技术支撑。 

通讯员：毛佳凯

编辑：杨玉洁